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微型电机系统简述
日期:[2013/9/9 9:02:25]   共阅[1451]次
  微型电机常用于控制系统中,实现机电信号或能量的检测、解算、放大、执行或转换等功能,或用于传动机械负载,也可作为设备的交、直流电源,应用广泛,下面小编要为大家介绍的是微型电机的系统简述,内容如下:
  微型电机系统的英文名称是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的缩写),指尺寸在几厘米以下乃至更小的小型装置,是一个独立的智能系统,主要由传感顺、作动器(执行器)和微能源三大部分组成,是可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。它的特点是:
  微型化:MEMS器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短。
  以硅为主要材料,机械电器性能优良:硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当,密度类似铝,热传导率接近钼和钨。
  批量生产:用硅微加工工艺在一片硅片上可同时制造成百上千个微型机电装置或完整的MEMS。批量生产可大大降低生产成本。
  集成化:可以把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体,或形成微传感器阵列、微执行器阵列,甚至把多种功能的器件集成在一起,形成复杂的微系统。微传感器、微执行器和微电子器件的集成可制造出可靠性、稳定性很高的MEMS。
  以上微型电机系统的内容希望对您有所帮助,我公司生产的微型电机质量可靠,性能优越,感兴趣的朋友赶快联系我们吧。
      小编:Glory
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